高溫磷酸蝕刻製程機(全自動) 點擊圖片放大
商品名稱:

高溫磷酸蝕刻製程機(全自動)

詳細介紹:

Wet PSS (Pattern Sapphire Substrate)

Sidewall Etch/ LBR

全自動供酸/補酸/精密配酸。

陶瓷遠紅外線加熱模組(可加熱至600°C)

環控流場式熱酸氣排放。

熱酸排再啟動製程2.5小時完成。

自動化機械手臂全程監控。

高溫排放閥選用德製EM-TECHNIK(保固兩年)